X系列半自动全自动探针台

产品概要

FTS-X12是一款集成了电学、光波、微波等测试功能的半自动探针台，专业应对12寸Wafer (向下兼容8寸，6寸)Si，GaN，SiC等各类材质的先进芯片的性能测试。可对晶圆、MEMS、生物结构、光电器件以及其他集成电路、LED、LCD、太阳能电池等进行7*24全天候在片探测，并可加载温控系统，满足客户于高低温环境下的各种性能测试要求。

应用方向

各类器件、Wafer等进行I-V、C-V、光信号、RF、1/f噪声等特性分析、射频测试、大功率测试等。

技术特点

●运行速度超70mm/s

高测试精度、运行效率与系统稳定性

●人体工程学设计，操作便捷舒适

多倍率光学显示系统，高精度测量与动态监控

●领先的内部防震系统装置，运行更稳定

综合控制系统，快速接入仪器测试

软件自动化测试 ，机械精度精确校准

功能丰富，可升级全自动测试